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高端半导体/真空设备的制造商
致力于为消费电子行业、锂电池、光伏、半导体
提供应用解决方案
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公司简介
专业、创新、品质、服务
深圳市星海威真空设备有限公司成立于2022年,是上市公司深圳新益昌科技股份有限公司的重要子公司。依托新益昌集团的强大资源与技术支持,进一步专注于新能源、新材料、光电、半导体芯片等高新技术领域的核心真空装备的研发和制造。
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卷绕镀膜设备
卷绕镀膜设备......
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钙钛矿设备
钙钛矿真空镀膜设备是钙钛矿太阳能电池制备中的关键设备之一。通过镀膜技术,可以制备出高质量的钙钛矿层、电子传输层、空穴传输层等关键结构,提高电池的光电转换效率和稳定性。 除了钙钛矿太阳能电池外,真空镀膜设备还广泛应用于OLED和OPV等其他类型的太阳能电池制备中,为这些新兴的光伏技术提供高质量的薄膜材料。
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第三代半导体外延设备
外延设单腔/多片(最大3×8Inch)+洁净真空机械手搬运, •各盘独立控温,控温精度高; •水平层流布气+分子泵排气,控制气体分布均匀; •工艺进程实时监控,精准控制参数;
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光学镀膜机
精密光学电子枪蒸镀系统专门为精密光学薄膜器件镀膜而设计,各系统设计和整体结构满足光学薄膜生产工艺要求
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消费电子行业
光学溅射系统
卷绕镀膜机
蒸镀机等
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锂电池行业
卷绕镀膜机
真空干燥机
蒸镀机等
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光伏行业
连续镀膜线
PVD
PECVD
LPCVD
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半导体行业
PVD
PECVD
MOCVD
ALD
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